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      產品資料
      產品[

      超高純壓力傳感器

      ]資料
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      產品名稱: 超高純壓力傳感器
      產品型號: UNIK 1000 VCR系列(PTX1072)
      產品廠商: Druck(德魯克)
      產品文檔: 無相關文檔
      簡單介紹
          

      本產品適用于: 1. 半導體、太陽能、液晶面板制造設備 2. 純介質和特殊氣體系統壓力測量 3. 超高純及有毒等特種電子氣體等

      超高純壓力傳感器 的詳細介紹


      應用行業:


      • 半導體、太陽能、液晶面板制造設備
      • 純介質和特殊氣體系統壓力測星


      應用流體:


      • 超高純及有毒等特種電子氣體


      特點:


      • 可測真空壓力,量程范圍:0-7MPa
      • 測量精度可達±0.25% FS BSL;
      • 工作溫度范圍:-40~8FC;
      • 硅壓阻敏感元件,高穩定性,高可靠性;
      • 316L不銹鋼結構
      • 壓力接頭脫脂清洗,產品真空包裝;
      • 快速響應時間,上電時間小于30ms;
      • 所有接液部分表面電拋光處理,符合EP Grade5;
      • 所有接液部分表面粗糙度不超過Ra 0.2;




      性能指標

      0-7MPa表壓之間任意選擇

      0-7MPa顚之間任誕擇

      *大過壓

      4xFS (2OMpa Max)

      封堵壓力

      6xFS (2OMpa Max)

      精度等級

      ±0.25%FS BSL BSL*佳擬合直線)

      溫度影響

      ±15%FSTHB TEB:溫度誤差帶)

      材質

      316L不銹鋼

      供電電壓

      7~32Vdc

      輸出形式

      4~20mA;V

      工作溫度范圍

      -40 ~ +80 C

      卜償溫度范圍

      -20 ~ +80C

      頻率響應

      3.5KHZ

      上電時間

      <30ms

      絕緣電阻

      >100MQ@500VDC

      長期穩定性

      ±0.1%FS 每年

      壓力介質

      316L不銹鋼兼容的流體

      零點允許誤差

      ±1.0%FS

      滿量程允許誤差

      ±1.0%FS



      電氣接口性能



      編號 描述 *大工作溫度范圍  IP等級     零、滿調整
      7 DIN43650.可拆卸 -40~+80 65
      G  M12*l四針 -40~+80 65

      電氣連接

      接頭類型 選項編號 電子產品選項 I
      4 - 20 mA 電壓1
      DIN, MicroDIN 7,D 1 +ve供電 +ve供電
      2 -ve供電 0V共地
      3 - +ve輸出
      E 外殼 外殼
      M12*l四針 G 1 +ve供電 +ve供電
      2 - +ve輸出
      3 -ve供電 0V共地
      4 外殼 外殼




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